电子显微镜原理(电子显微镜原理及应用)

电子显微镜(Electron Microscope,简称EM)是应用电子束与物质间相互作用,在高真空环境下,将物质的微观结构放大下的一种高分辨率显微镜。电子显微镜主要由电子源、透镜系、检测系统三部分组成。

电子源是电子显微镜最重要的部件,其通过加热钨丝或其它金属使其发射出高速电子,形成电子束。透镜系用于聚焦电子束,包括磁透镜、电透镜等。检测系统用于观测电子与物质的相互作用结果,包括像差调节系统、感应探针等。

由于电子波长与光波相比极小,电子显微镜分辨率比光学显微镜高得多。其中透射电子显微镜(TEM)用于观察材料的内部结构,扫描电子显微镜(SEM)则可用于观察材料表面形貌和元素分布。

电子显微镜应用广泛,包括材料科学、生物医学、纳米技术等领域。

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